销售热线

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晶体生长炉热场


  用于生长半导体晶体的所有工艺都在高温、侵蚀性环境下运行,晶体生长炉的热区通常配备耐热和耐腐蚀的高纯度石墨部件,如加热器、坩埚、石墨保温筒、导流筒等。

  

 

  图 CZ直拉单晶炉热场示意图

  

 

  图 CZ晶体生长炉高纯石墨加热器

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