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离子注入设备部件


  离子注入是指将硼、磷、砷等离子束加速到一定能量,然后注入晶圆材料的表层内,以改变材料表层物质特性的工艺。

  

 

  图 离子注入原理

  组成离子注入装置部件的材料要求具有出优异耐热性、导热性、由离子束引起的腐蚀较少且杂质含量低的高纯材料。高纯石墨满足应用要求,可用于离子注入设备的飞行管、各种狭缝、电极、电极罩、导管、束终止器等。

  

 

  图 离子注入石墨部件

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