石墨在直拉单晶硅中的用
直拉单晶炉的热系统是指为了熔化硅料, 并保持在一定温度下进行单晶生长的整个系统,在直拉单晶硅热场中,石墨部件有增涡、加热器、电极、隔热遮蔽板、籽晶夹持器、旋转增祸用的底座、各种圆板、热反射板等约30余种。
在这些高纯石墨制品中,加热器是热系统中最重要的部件,是直接的发热体,温度最高达到1600℃以上;与加热器相连的石墨电极不仅要平稳支撑加热器还需要通过它对加热器进行加热,因此石墨电极要求厚重,结实耐用,它与金属电极和加热器的接触面需要光滑、平稳,保证接触良好,通电时不打火,这就需要对石墨电极进行特殊化处理;用来盛装硅料的高纯石墨柑祸必须具有一定的强度,用来承受硅料的重量。
随着石墨材料在直拉单晶中的应用越来越广泛,石墨材料的发展可以促使直拉单晶工艺得到改善,有利于进一步降低直拉单晶的生产成本和提高直拉单晶的生产效率。
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