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氢能源石墨双极板

石墨双极板是一种用于电化学电池的电极材料，由石墨和多种添加剂组成。它的主要作用是提供电池反应所需的反应表面，同时具有良好的导电性、稳定性和耐腐蚀性。石墨双极板通常用于燃料电池和电解池等氢能源领域的电池中，主要具有以下作用：

EDM电火花加工

EDM石墨，又称为电火花加工用石墨，是一种新型材料，现在越来越广泛地应用在精密模具加工行业。目前在发达的欧洲国家的模具加工厂，超过90%以上的模具加工电极材料是石墨。铜，这种曾经占统治地位的电极材料，和石墨电极相比它的优势几乎消失殆尽。为什么会这样呢?因为石墨作为电火花加工用放电材料具有巨大的优势，由于火花油中也含有C原子，在放电加工时，高温使得火花油中的C原子被分解出来，从而在EDM石墨电极的表面形成保护膜，补偿了石墨电极的损耗，因此石墨电极的损耗很小，所以使用寿命长。

柔性石墨箔

柔性石墨箔由天然膨胀石墨制成，在半导体应用上可提高系统和工艺的性能，最大限度的降低能耗并保证可靠性。可用于半导体生产设备中的保温筒、隔热材料、柔性层、密封材料等各种零部件。

等离子蚀刻设备部件

在等离子体蚀刻处理过程中，等离子体反应室的部件表面会暴露在等离子体蚀刻气体中，被腐蚀，造成污染。而石墨在离子轰击或等离子等极限工作条件下，不易受腐蚀，可用于等离子蚀刻设备部件，如石墨电极。

离子注入设备部件

离子注入是指将硼、磷、砷等离子束加速到一定能量，然后注入晶圆材料的表层内，以改变材料表层物质特性的工艺。

外延石墨盘

外延工艺是指在单晶衬底上生长一层跟衬底具有相同晶格排列的单晶材料，外延层可以是同质外延层(Si/Si)，也可以是异质外延层 (SiGe/Si 或 SiC/Si 等)。在硅和碳化硅的外延工艺中，晶片承载在石墨盘上，有桶式、煎饼式和单晶片石墨盘。石墨盘的性能和质量对晶片的外延层的质量起着至关重要的作用。

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